特許

J-GLOBAL ID：200903031114072670

密閉光学系を備える装置、及びこの装置の調整方法

発明者： 竹内 仁
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 井上 義雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-111807
公開番号（公開出願番号）：特開平10-289869
出願日： 1997年04月15日
公開日（公表日）： 1998年10月27日
要約：

【要約】【課題】 光源と光路の一部または全部が密閉され所定の気体が充填された光学系とを備える装置において光学系の調整を大気に開放したまま行うことのできる装置及びその調整方法を提供する。【解決手段】 この装置は、光源10と、光路の一部または全部が密閉され所定の気体が充填された光学系22とを備える装置において、光源10が発生する光の帯域幅を可変し装置に対して着脱可能に構成された帯域幅可変手段13を具備する。

請求項（抜粋）：

光源と、光路の一部または全部が密閉され所定の気体が充填された光学系とを備える装置において、前記光源が発生する光の帯域幅を可変し前記装置に対して着脱可能に構成された帯域幅可変手段を具備することを特徴とする装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (3件)：

H01L 21/30 515 B ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D