特許

J-GLOBAL ID：200903031123946977

光導波路デバイス及びその製造方法

発明者： 定行 勝 ,  林 智幸 ,  安間 康浩 ,  市川 智徳
出願人/特許権者： エフ・ディ-・ケイ株式会社
代理人 (1件)： 茂見 穰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-065539
公開番号（公開出願番号）：特開2002-268021
出願日： 2001年03月08日
公開日（公表日）： 2002年09月18日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 偏波依存性損失が小さい光導波路デバイス及びその製造方法を得る。特に、小型化、集積化が可能であり、可動部を有しないために信頼性を高くできるような導波路型の可変光減衰器を得る。【解決手段】 基板に形成した光導波路12の近傍にヒータ電極14を設け、熱光学効果により光導波路の屈折率を制御する光導波路デバイスである。ここでヒータ電極は、引っ張り応力を呈する1層以上の抵抗性薄膜と圧縮応力を呈する1層以上の抵抗性薄膜を積層した多層膜からなる。ヒータ電極は、その総膜厚が30nm以上であり、且つ多層膜の膜応力の絶対値が1.5×108 Pa以下とすることが望ましい。例えばCr、Au、Ti、Al、Cu、Ta、W、Ni、TaN、Ptから選ばれる1種類以上の薄膜材料からなるスパッタ膜とする。可変光減衰器は、マッハ・ツェンダー光干渉計型の光導波路のアーム部分にヒータ電極を設けることで構成できる。

請求項（抜粋）：

基板に形成した光導波路の近傍にヒータ電極を設け、熱光学効果により光導波路の屈折率を制御する光導波路デバイスにおいて、前記ヒータ電極が、引っ張り応力を呈する1層以上の抵抗性薄膜と圧縮応力を呈する1層以上の抵抗性薄膜を積層した多層膜からなることを特徴とする光導波路デバイス。

Fターム (7件)：

2H079AA06 ,  2H079AA12 ,  2H079BA01 ,  2H079BA03 ,  2H079CA05 ,  2H079DA14 ,  2H079EB27