特許

J-GLOBAL ID：200903031124786388

パターン検査装置

発明者： 高橋 伸治
出願人/特許権者： サンテック株式会社
代理人 (1件)： 岡本 宜喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-119812
公開番号（公開出願番号）：特開2002-310630
出願日： 2001年04月18日
公開日（公表日）： 2002年10月23日
要約：

【要約】【課題】 パターン検査装置において検査パターンの位置ずれや基材の収縮等による影響を少なくし、高感度のパターンを用いて誤りなく検出できるようにすること。【解決手段】 カメラ3によってICパッケージ1の検査パターンを読込む。読込んだ画像を画像メモリ5に保持して、二値化回路6によって二値化する。特徴抽出回路7Aであらかじめ検出すべき欠陥を含む特徴抽出パターンを有する特徴抽出演算子を保持しておき、これを走査することによって欠陥を検出する。又特徴抽出回路7Bで欠陥としない特徴抽出パターンを記憶し、これを走査することによって検査除外領域を検出する。検査除外欠陥でない欠陥画像を選択し、これに基づいて画像を判別することによって全体の欠陥を検出する。

請求項（抜粋）：

検査パターンを撮像する撮像装置と、前記撮像装置によって撮像した画像をパターン部と他の部分とに二値化する二値化部と、前記二値化部より得られる二値化画像に対して特定の欠陥検出用抽出パターンを走査し、一致する画像の位置を検出することによって欠陥画素を検出する第1の特徴抽出部と、前記二値化部より得られる二値化画像に対して所定の検査外領域を決定する特徴抽出パターンを走査し、一致する画像の位置を検出することによって検査外領域を検出する第2の特徴抽出部と、前記第2の特徴抽出部で抽出された領域を除いた前記第1の特徴抽出部で抽出される欠陥画素に基づいてパターンの異常を判別する判別部と、を具備することを特徴とするパターン検査装置。

IPC (5件)：

G01B 11/30 ,  G01B 11/00 ,  G01N 21/956 ,  G06T 1/00 305 ,  G06T 1/00 400

FI (5件)：

G01B 11/30 A ,  G01B 11/00 H ,  G01N 21/956 B ,  G06T 1/00 305 A ,  G06T 1/00 400 D

Fターム (51件)：

2F065AA49 ,  2F065AA56 ,  2F065BB02 ,  2F065BB24 ,  2F065CC01 ,  2F065CC17 ,  2F065DD04 ,  2F065FF04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065QQ08 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ39 ,  2F065SS04 ,  2F065UU05 ,  2G051AA61 ,  2G051AA65 ,  2G051AB07 ,  2G051CA03 ,  2G051CB01 ,  2G051EA11 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02 ,  2G051ED09 ,  2G051ED12 ,  2G051ED30 ,  5B047AA12 ,  5B047AB02 ,  5B047BB06 ,  5B047DB04 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB06 ,  5B057CB12 ,  5B057CB16 ,  5B057CC01 ,  5B057CE09 ,  5B057CE12 ,  5B057DA03 ,  5B057DA16 ,  5B057DB02 ,  5B057DB05 ,  5B057DB08 ,  5B057DC01 ,  5B057DC33