光学像観察システム

発明者： ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：井島藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-364792
公開番号（公開出願番号）：特開2002-168797
出願日： 2000年11月30日
公開日（公表日）： 2002年06月14日
要約：

【要約】【課題】本発明は光学像観察システムに関し、非破壊で試料の表面及び内部を観察することができる光学像観察システムを提供することを目的としている。【解決手段】試料の裏面から光を照射してその反射光から反射像を得る光学像観察システムにおいて、得られた反射像の反射強度により、そのエリア内のパターンを抽出するパターン抽出手段と、該パターン抽出手段により抽出されたパターンと予め記憶されている基準パターンとを比較する比較手段と、該比較手段の比較結果に応じて前記光の波長を切り換える切換手段とを具備して構成する。

請求項（抜粋）：

試料の裏面から光を照射してその反射光から反射像を得る光学像観察システムにおいて、複数種類の波長光が発生可能な光源と、試料の種類により、又は同一試料内の場所によって前記光源の波長を変える手段とを具備することを特徴とする光学像観察システム。

IPC (3件)：

G01N 21/956 , G01B 11/24 , H01L 21/66

FI (5件)：

G01N 21/956 A , H01L 21/66 C , H01L 21/66 S , H01L 21/66 J , G01B 11/24 K

Fターム (46件)：

2F065AA03 , 2F065AA07 , 2F065AA23 , 2F065AA56 , 2F065BB03 , 2F065CC19 , 2F065DD00 , 2F065FF01 , 2F065FF04 , 2F065FF41 , 2F065GG04 , 2F065GG23 , 2F065HH13 , 2F065JJ03 , 2F065JJ19 , 2F065JJ26 , 2F065KK01 , 2F065LL00 , 2F065MM16 , 2F065PP24 , 2F065QQ00 , 2F065SS02 , 2F065SS13 , 2F065UU01 , 2F065UU05 , 2G051AA51 , 2G051AB06 , 2G051AB07 , 2G051AC11 , 2G051BA10 , 2G051BC01 , 2G051BC06 , 2G051CB01 , 2G051EA12 , 2G051EB01 , 4M106AA01 , 4M106AA02 , 4M106CA38 , 4M106DB04 , 4M106DB08 , 4M106DB18 , 4M106DB21 , 4M106DJ11 , 4M106DJ18 , 4M106DJ21 , 4M106DJ24

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