特許

J-GLOBAL ID：200903031127860813

露光装置用物品

発明者： 中村 正孝
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-113816
公開番号（公開出願番号）：特開2002-313695
出願日： 2001年04月12日
公開日（公表日）： 2002年10月25日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】画像記録用光としてArFレーザー光を使用した場合にも高コントラストな画像を形成可能な露光装置用物品を提供する。【解決手段】基材上にその化学構造にナフタレン環以外の芳香族環を含まないフォトクロミック材料を含む感光層を有する構造にして、ArFレーザー光が吸光度を小さくし、感光層内部までレーザー光が到達し、露光されるようにする。

請求項（抜粋）：

基材上にフォトクロミック材料を含む感光層を有する露光装置用物品であって、該フォトクロミック材料がその化学構造にナフタレン環以外の芳香族環を含まないことを特徴とする露光装置用物品。

IPC (7件)：

H01L 21/027 ,  C07D491/107 ,  C07D498/10 ,  C09K 9/02 ,  G03C 1/685 ,  G03C 1/73 503 ,  G03F 7/20 502

FI (7件)：

C07D491/107 ,  C07D498/10 S ,  C09K 9/02 B ,  G03C 1/685 ,  G03C 1/73 503 ,  G03F 7/20 502 ,  H01L 21/30 503 Z

Fターム (30件)：

2H097CA13 ,  2H123AA00 ,  2H123AA12 ,  2H123AA19 ,  2H123AA20 ,  2H123BA00 ,  2H123BA49 ,  4C050AA04 ,  4C050BB04 ,  4C050CC18 ,  4C050DD10 ,  4C050EE01 ,  4C050FF02 ,  4C050GG01 ,  4C050HH01 ,  4C072AA04 ,  4C072AA06 ,  4C072BB02 ,  4C072CC02 ,  4C072CC11 ,  4C072EE07 ,  4C072FF03 ,  4C072GG01 ,  4C072HH02 ,  4C072UU05 ,  5F046AA28 ,  5F046CA04 ,  5F046CA08 ,  5F046DB11 ,  5F046DC11