特許

J-GLOBAL ID：200903031129771370

ペリクル

発明者： 宮崎 哲也
出願人/特許権者： 三井化学株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 郁男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-328012
公開番号（公開出願番号）：特開2000-147750
出願日： 1998年11月18日
公開日（公表日）： 2000年05月26日
要約：

【要約】【課題】 緻密な金属酸化物からなる基体表面に、紫外光、特に真空紫外光に対する透過性と反射防止性能に優れた無機系の反射防止層が形成されており、その結果、紫外光に対する優れた耐光性と光線透過性とを有するペリクルを提供する。【解決手段】 緻密な金属酸化物(a)から成る基体の両面に反射防止層を積層したペリクル膜乃至板において、該反射防止層が多孔質の金属酸化物(b)の薄膜からなるペリクル膜乃至板であることを特徴とするペリクル。

請求項（抜粋）：

緻密な金属酸化物(a)から成る基体の両面に反射防止層を積層したペリクル膜乃至板において、該反射防止層が多孔質の金属酸化物(b)の薄膜からなるペリクル膜乃至板であることを特徴とするペリクル。

IPC (2件)：

G03F 1/14 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

G03F 1/14 J ,  H01L 21/30 502 P

Fターム (3件)：

2H095BC33 ,  2H095BC34 ,  2H095BC35