特許

J-GLOBAL ID：200903031143890552

真空排気装置

発明者： 五十嵐 健二
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-111777
公開番号（公開出願番号）：特開平5-306681
出願日： 1992年04月30日
公開日（公表日）： 1993年11月19日
要約：

【要約】【目的】ゲッターチャンバの外径寸法を変えることなく、ゲッターポンプの真空排気量の大容量化を得られる真空排気装置を提供する。【構成】真空チャンバ1および真空チャンバに設けられ真空チャンバ内を高真空状態にするゲッターポンプ2Aとからなり、上記ゲッターポンプは、上記真空チャンバに連結されるゲッターチャンバ5、このゲッターチャンバ内周壁にゲッター膜を被覆させるゲッターヘッド6、このゲッターヘッドをゲッターチャンバ内に進退駆動する駆動機構7、この駆動機構により駆動されるゲッターヘッドが進退可能なように上記ゲッターチャンバ内を複数の区画室9...に形成してゲッターチャンバの容積当たりの表面積を多くする複数の隔壁8...とからなる。

請求項（抜粋）：

真空チャンバと、この真空チャンバに設けられ真空チャンバ内を高真空状態にするゲッターポンプとからなる真空排気装置おいて、上記ゲッターポンプは、上記真空チャンバに連結されるゲッターチャンバと、このゲッターチャンバ内周壁にゲッター膜を被覆させるゲッターヘッドと、このゲッターヘッドをゲッターチャンバ内に進退駆動する駆動手段と、この駆動手段により駆動されるゲッターヘッドが進退自在に設けられ上記ゲッターチャンバ内を複数の区画室に形成してゲッターチャンバの容積当たりの表面積を多くする複数の隔壁とを具備したことを特徴とする真空排気装置。