特許

J-GLOBAL ID：200903031144779035

基板のスクラビング装置のロック機構

発明者： 斎藤 博之 ,  伊藤 隆志 ,  木南 治行 ,  小中 敏典 ,  村井 剛
出願人/特許権者： エム・セテック株式会社
代理人 (1件)： 森 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-321424
公開番号（公開出願番号）：特開平8-150380
出願日： 1994年11月29日
公開日（公表日）： 1996年06月11日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】遠心乾燥を行い、回転部分の部材の軽量化を図り、しかも、高速回転時の遠心力で、基板チャックが開かないようにロック機構のロック力を向上させる。【構成】弾性プレート78の力点P1に作用する押圧プレート81と、ロック側の拡縮ブロック70aの下面に係合し、押圧プレートの上に突出して配設されたロックシャフト66と、ロックシャフトに回動自在に取着された作動レバー61と、作動レバーに取着され、押圧プレート上を移動して押圧時にはロックシャフトを引き上げると共にその反作用で押圧プレートを押圧し、ロック側の拡縮ブロックと弾性プレートとで拡縮ロックバー76のロック側76aを挟持させ、解除時にはロックシャフトを下げ、押圧プレートへの負荷を解除するロックローラ63と、作動レバーを昇降させて押圧プレートへの加圧と加圧解除とを行うレバー作動用ブロック74で構成。

請求項（抜粋）：

径方向に拡縮可能に配設された分割体で構成された基板チャックにて基板の外周縁をクランプし、基板をその平面内で回転させつつ基板の洗浄面をブラシにて洗浄する基板のスクラビング装置であって、ロック機構が、少なくとも1つの分割部分において接線方向に配設され、一方の分割体の拡縮ブロックに固定され、他方の分割体の拡縮ブロックにスライド自在に配設されている拡縮ロックバーと、片持支持であって、拡縮ロックバーのロック側を前記ロック側の拡縮ブロックとで挟持するようになっており、その支点から拡縮ロックバーへの作用点迄の距離よりその支点から外力が作用する力点迄の距離の方が長い弾性プレートと、一端が枢着され、弾性プレートの力点に作用する押圧プレートと、ロック側の拡縮ブロックの下面に係合し、押圧プレートの上に突出して配設されたロックシャフトと、ロックシャフトに回動自在に取着された作動レバーと、作動レバーに取着され、前記押圧プレート上を移動して押圧時にはロックシャフトを引き上げると共にその反作用で押圧プレートを押圧し、ロック側の拡縮ブロックと弾性プレートとで拡縮ロックバーのロック側を挟持させ、解除時にはロックシャフトを下げる事によって押圧プレートへの負荷を解除するロックローラと、作動レバーを昇降させて押圧プレートへの加圧と加圧解除とを行うレバー作動用ブロックとで構成されている事を特徴とする基板のスクラビング装置のロック機構。

IPC (4件)：

B08B 7/04 ,  B23Q 3/06 303 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304 351