特許
J-GLOBAL ID：200903031145496851
自動焦点合わせ機能を備えた電子顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阿部 龍吉 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-201193
公開番号（公開出願番号）：特開平6-096710
出願日： 1992年07月28日
公開日（公表日）： 1994年04月08日
要約：
【要約】【目的】 映像信号とウォブラ信号との相関をとり煩雑な操作を不要にした自動焦点合わせ機能を備えた電子顕微鏡を提供する。【構成】 電子銃3から発射された電子ビーム7を偏向する第1偏向レンズ4と第2偏向レンズ5にウォブラ信号を印加して対物レンズ6によって結像部9に結んだ像から焦点合わせを行うように構成した電子顕微鏡において、第1偏向レンズの電源10、第2偏向レンズの電源11、第1偏向レンズの電源10と第2偏向レンズの電源11にウォブラ信号を印加するウォブラ信号発生手段14、結像部9に結んだ像の映像信号を検出する検出手段13、検出した映像信号とウォブラ信号との相関をとる相関手段15、及び該相関手段15の出力が最小となるように対物レンズ電流を調整する対物レンズの電源12を備える。このように構成することにより、焦点が合っている状態と合っていない状態で大きさの異なる相関出力を得ることができ、ウォブライメージ機能をオンにするだけの簡単な操作で自動的に焦点合わせを行うことができる。
請求項（抜粋）：
電子銃から発射された電子ビームを偏向する第1偏向レンズと第2偏向レンズにウォブラ信号を印加して対物レンズによって結像部に結んだ像から焦点合わせを行うように構成した電子顕微鏡において、第1偏向レンズの電源、第2偏向レンズの電源、第1偏向レンズの電源と第2偏向レンズの電源にウォブラ信号を印加するウォブラ信号発生手段、結像部に結んだ像の映像信号を検出する検出手段、検出した映像信号とウォブラ信号との相関をとる相関手段、及び該相関手段の出力が最小となるように対物レンズ電流を調整する対物レンズの電源を備えたことを特徴とする自動焦点合わせ機能を備えた電子顕微鏡。
IPC (2件)：
引用特許：
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