特許
J-GLOBAL ID：200903031150767065
観察機器の試料ステージ盤
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-341504
公開番号（公開出願番号）：特開平10-188871
出願日： 1996年12月20日
公開日（公表日）： 1998年07月21日
要約：
【要約】【課題】 観察角度の自由度を高めると共に、試料(試料ステージ)を傾けて観察する時に、再度の位置合わせおよびフォーカス調整を不要にする。【解決手段】 定盤1に固定された外側リング2と、外側リング2の内側に設けられた第1軸3と、第1軸3を介して外側リング2に揺動可能に設けられた内側リング4と、内側リング4の内側に設けられた第1軸3に対して直交する第2軸5と、第2軸5を介して内側リング4に揺動可能に設けられた円筒体6と、円筒体6に支持固定されたX、Y、Zおよびθ方向に移動可能な試料ステージ7とを備えた。
請求項（抜粋）：
定盤に固定された外側リングと、該外側リングの内側に設けられた前記定盤面に平行な第1軸と、該第1軸を介して前記外側リングに揺動可能に設けられた内側リングと、該内側リングの内側に設けられた前記第1軸に対して直交する第2軸と、該第2軸を介して前記内側リングに揺動可能に設けられた筒体と、該筒体に支持固定されたX、Y、Zおよびθ方向に移動可能な試料ステージとを備えたことを特徴とする観察機器の試料ステージ盤。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 37/20 D
, G02B 21/26
