特許
J-GLOBAL ID：200903031161139767
光軸調整方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
光石 俊郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-172493
公開番号（公開出願番号）：特開平5-018747
出願日： 1991年07月12日
公開日（公表日）： 1993年01月26日
要約：
【要約】【目的】 焦点誤差検出型変位計等における光源と対物レンズとの光軸調整を簡素化し、効率の向上を図る。【構成】 被測定物に焦点ビームを照射する光源1と対物レンズ2を備え前記被測定物からの反射光から前記被測定物の情報を得る光学系において光源1と対物レンズ2との軸を一致させるに際し、光源1と対物レンズ2との角度2方向の軸を調整した後、対物レンズ2の焦点位置に全反射鏡3を設けると共に光源1と対物レンズ2との間にビームスプリッタ5を設けて全反射鏡3での反射光を4分割検出器6へ導き、光源1と対物レンズ2との直線2方向の光軸を調整する。
請求項（抜粋）：
被測定物に集光ビームを照射する光源と対物レンズとを備え前記被測定物からの反射光から前記被測定物の情報を得る光学系において前記対物レンズの軸に垂直な面の直線2方向と角度2方向とに対して該対物レンズの軸と前記光源の軸とを一致させるに際し、前記直線2方向の軸成分と前記角度2方向との調整過程を分離することを特徴とする光軸調整方法。
IPC (3件)：
G01C 3/06
, G02B 27/62
, G11B 7/08
