特許

J-GLOBAL ID：200903031163305834

光偏向素子

発明者： 森川 尚 ,  梨本 恵一 ,  中村 滋年
出願人/特許権者： 富士ゼロックス株式会社
代理人 (1件)： 中島 淳 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-267110
公開番号（公開出願番号）：特開2001-091976
出願日： 1999年09月21日
公開日（公表日）： 2001年04月06日
要約：

【要約】【課題】 単一の基板を用いた光導波路素子によって、光軸調整を必要とせず小型で、低駆動電圧、高光利用効率に光ビームを2次元偏向する。【解決手段】 導電性の単結晶基板1上へ設けられたエピタキシャル性の電気光学効果を有する薄膜状の光導波路3を備える。光導波路3上には光導波路内光ビーム制御用電極5を設置する。光導波路3上の光導波路内光ビーム制御用電極5が配置されている位置より光ビーム下流側には、光導波路3内の光ビームを出射する出射用プリズム9を配置する。単結晶基板1と光導波路3との間には、バッファ層を配置し、光導波路3と光導波路内光ビーム制御用電極5との間には、上部電極5を配置する。

請求項（抜粋）：

下部電極となる導電性または半導電性の単結晶基板上、または表面に下部電極となる導電性または半導電性のエピタキシャル又は単一配向性薄膜が形成された基板上に設けられたエピタキシャルまたは単一配向性の電気光学効果を有する光導波路と、前記光導波路上に配置され、前記単結晶基板、またはエピタキシャル又は単一配向性薄膜との間に、印加された電圧に応じて屈折率が変化すると共に前記光導波路を伝搬する光ビームを印加された電圧に応じて第1の方向に偏向するための領域を形成する光導波路内光ビーム制御用電極と、前記光導波路内の光ビームを前記第1の方向と交差する第2の方向に出射する出射用プリズムと、前記光導波路の温度を変化させ、かつ、該温度に応じて、前記出射用プリズムから出射される光ビームを前記第2の方向に偏向する出射光ビーム制御用の温度制御手段と、を含む光偏向素子。

Fターム (14件)：

2K002AA01 ,  2K002AA05 ,  2K002AA06 ,  2K002AB08 ,  2K002BA06 ,  2K002BA13 ,  2K002CA02 ,  2K002CA22 ,  2K002DA05 ,  2K002EA30 ,  2K002EB04 ,  2K002EB05 ,  2K002HA02 ,  2K002HA11