特許
J-GLOBAL ID：200903031170247823
研磨方法および研磨装置
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
,
,
代理人 (1件)：
豊田 武久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-316064
公開番号（公開出願番号）：特開平7-136925
出願日： 1993年11月22日
公開日（公表日）： 1995年05月30日
要約：
【要約】【目的】 アルミニウム製細管の内面の如く、ダイヤモンドバイト等の工具を研磨すべき面の側に挿入したり機械的に保持したりすることが困難な場合においても、容易に研磨を行なうことが可能な研磨方法および装置を提供する。【構成】 アルミニウム等の非磁性材料からなる被研磨材における研磨すべき面に、磁性材料を含む研磨材を配置して、研磨すべき面に対し反対側の面から磁気を印加し、磁力により研磨材を研磨面に圧接させつつ、研磨材を振動させる。その振動は、磁気印加手段としての永久磁石もしくは電磁石を振動させるか、あるいは磁気分布を周期的に変化させることによって与える。
請求項（抜粋）：
非磁性材料からなる被研磨材における研磨すべき面に、少なくとも一部に磁性材料を含む研磨材を配置し、前記被研磨材における研磨すべき面に対し反対側の面の側から前記研磨材に磁気を印加して、磁力によりその研磨材を研磨すべき面に圧接させつつ、研磨すべき面と実質的に平行な面内で研磨材を振動させて研磨することを特徴とする研磨方法。
IPC (2件)：
前のページに戻る
