特許

J-GLOBAL ID：200903031179170912

反射回折電子線強度の検出方法および装置

発明者： 鈴木 敏子
出願人/特許権者： 川崎製鉄株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-006090
公開番号（公開出願番号）：特開平5-188015
出願日： 1992年01月17日
公開日（公表日）： 1993年07月27日
要約：

【要約】【目的】 反射回折電子線強度の検出方法および装置を提供する。【構成】 試料室1にセットされた試料Sの表面に、電子銃2で発生された電子線EBを絞り3, 静電偏向系4, 集束レンズ5, 偏向コイル6を介して低い角度で照射し、試料Sからの反射回折電子線DBを偏向コイル7で偏向して蛍光板8に回折パターンとして投影し、この回折パターンを観察窓9を介して観測する反射高速電子線回折装置を用いて試料からの反射回折電子線強度を検出する際に、反射回折電子線DBを偏向する偏向コイル7に電圧を印加する印加電圧電源15の印加電圧の大きさを制御する印加電圧制御部18と、蛍光板8周辺に設置されて反射回折電子線DBの回折スポットの電流量を検出する電子検出板19と、この電子検出板19からの検出信号を入力して解析処理してその結果を表示する信号処理・表示部20とを備えることにより、反射回折電子線強度を高精度でかつ容易に測定することが可能である。

請求項（抜粋）：

高速の電子線を試料に低角度で照射してその試料表面で回折された電子線群を偏向させながら蛍光板上に形成させた回折パターンを観察する反射高速電子線回折法によって試料からの反射回折電子線強度を検出する方法であって、前記回折パターンのスポット位置を移動する工程と、移動したスポットの電流量を検出する工程と、からなることを特徴とする反射回折電子線強度の検出方法。