特許
J-GLOBAL ID：200903031180035131
液面調節構造体およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小堀 益
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-333122
公開番号（公開出願番号）：特開平5-254115
出願日： 1992年12月14日
公開日（公表日）： 1993年10月05日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】液面調節構造体とその製法。【構成】コントローラは、事実上平坦な上面14と底面18とを有するプレートと、マーキング流体を容れる砂時計形開口20とで成る。開口20のくびれ部26の対向する両側から一定の距離だけ、一定角度で突出するのは、ナイフ刃40を備えた舌片38であり、これは流体の表面張力と相互作用して、流体の際限のない表面の位置を調節する。液面調節構造体16を生じさせる方法は半導体製造技術を使用する。この装置はいくつかのエッチング工程を使って半導体ウェハー48に形成され、それらの工程のいくつかはそのウェハーの結晶面に沿って作用する。
請求項（抜粋）：
互いに反対側にある第1外面と第2外面とを有し、表面張力を有する液体を含む開口をさらに有するプレートと、前記開口は第1及び第2樋部材の表面により限定され、それらの樋部材は前記プレート内でくびれ部の位置で合致することと、液体の表面張力により前記第1外面に対して所定位置に液体を保持するため前記くびれ部から前記開口内へ突出する舌片とで構成される液面調節構造体。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B41J 3/04 103 Z
, B41J 3/04 103 H
