特許
J-GLOBAL ID：200903031182156548
半導体ウェハ無塵搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小杉 佳男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-337247
公開番号（公開出願番号）：特開平6-188301
出願日： 1992年12月17日
公開日（公表日）： 1994年07月08日
要約：
【要約】【目的】クリーンルームが全体に亘って高清浄度でなくとも半導体ウェハの搬送の際に汚染することを防止するとともに動作時間が短い半導体ウェハ無塵搬送装置を提供する。【構成】除塵フィルタを有し、下降空気流を発生するファンと、この下降空気流が通り抜ける孔を底に有し、半導体ウェハを下降空気流に曝したまま収納するキャリヤと、下降空気流を囲む防塵壁とを備えた。
請求項（抜粋）：
半導体ウェハ無塵搬送装置において、除塵フィルタを有し、下降空気流を発生するファンと、該ファンが発生する前記下降空気流が通過する孔を底に有し、半導体ウェハを前記下降空気流に曝しつつ収納するキャリヤと、前記下降空気流を囲む防塵壁とを備えたことを特徴とする半導体ウェハ無塵搬送装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, B65G 49/00
, B65G 49/07
, H01L 21/02
