EDS検出器の素子冷却装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：北谷寿一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-280943
公開番号（公開出願番号）：特開平6-109339
出願日： 1992年09月25日
公開日（公表日）： 1994年04月19日
要約：

【要約】【目的】液体窒素の管理をなくしてEDS検出器の素子冷却を簡単な操作で行える素子冷却装置を提供する【構成】電子顕微鏡(1)に元素分析を行うEDS検出器を配置し、このEDS検出器の素子とパルス管冷凍機(6)の冷熱発生部(5)とを冷熱伝達棒を介して熱的に接続する。パルス管冷凍機(6)の圧縮機(18)からの高圧ガス路(24)と圧縮機(18)へのガス戻り路(25)との間に予備ガス室(23)を配置する。予備ガス室(23)と高圧ガス路(24)及びガス戻し路(25)との間に流路開閉弁(26)(27)を配置する。流路開閉弁(26)(27)を開閉制御することにより、初期冷却時に増加させて加速冷却させるとともに、定常運転時にパルス管冷凍機(6)の冷熱発生部(5)に送り込むガス量を減少させてガス圧力波振動を低減させるようにする。

請求項（抜粋）：

電子顕微鏡(1)に元素分析を行うEDS検出器を配置し、このEDS検出器の素子とパルス管冷凍機(6)の冷熱発生部(5)とを冷熱伝達棒を介して熱的に接続し、パルス管冷凍機(6)の圧縮機(18)からの高圧ガス路(24)と圧縮機(18)へのガス戻り路(25)との間に予備ガス室(23)を配置し、予備ガス室(23)と高圧ガス路(24)及びガス戻し路(25)との間に配置した流路開閉弁(26)(27)を開閉制御することにより、初期冷却時にガス量を増加させて加速冷却させるとともに、定常運転時にパルス管冷凍機(6)の冷熱発生部(5)に送り込むガス量を減少させてガス圧力波振動を低減させるようにしたことを特徴とするEDS検出器の素子冷却装置。

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