変位検出装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：縣浩介
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP1999003778
公開番号（公開出願番号）：WO2000-005548
出願日： 1999年07月12日
公開日（公表日）： 2000年02月03日
要約：

【要約】簡単な構造で精度の良い磁気的な直線変位又は角変位を検出する手段を提供する。厚さに勾配を付した磁性体板にその板面に垂直の方向に着磁し、この板の板面に沿い、その厚さの勾配の方向に移動可能に磁気センサを配置し、この磁気センサの移動機構を変位検出対象に応動させるようにした。このとき上記磁気センサの出力が変位を表わすことになる。

請求項（抜粋）：

板面の長さ方向に厚さが変化するように厚さに勾配を付した磁性体板を厚さ方向に着磁し、この磁性体板の板面に近接して板面との距離を一定に保ちつゝ、板面の長さ方向に板面に対して相対的に移動可能に磁気センサを配置し、この磁気センサと上記磁性体板との間の相対的な移動を行わせる移動機構を変位検出対象に応動させ、上記磁気センサの出力を変位の検出信号とするようにしたことを特徴とする変位検出装置。

IPC (3件)：

G01B 7/00 , G01D 5/18 , G01D 5/245

FI (3件)：

G01B 7/00 J , G01D 5/18 E , G01D 5/245 Y

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