特許

J-GLOBAL ID：200903031200829806

アライメントマークの自動サーチ方式

発明者： 桜井 秀樹
出願人/特許権者： シャープ株式会社 ,  シャープマニファクチャリングシステム株式会社
代理人 (1件)： 岡田 和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-252875
公開番号（公開出願番号）：特開平7-108421
出願日： 1993年10月08日
公開日（公表日）： 1995年04月25日
要約：

【要約】【目的】手動アライメントを必要とせず、また、必要以上の機械精度や光学系解像度の向上を図らなくても、従来と同程度のハード構成においてアライメントマークを自動サーチできるようにし、タイムロスやコストの増大を避ける。【構成】第1の視野11にアライメントマークm1 が存在しかつ第2の視野12にはアライメントマークm2 が存在しないとき、x方向,y方向の移動でアライメントマークm1 を第1の視野11の中心に位置させる。次いで、第1の視野11からアライメントマークm1 がはみ出さない所定の角度Δθだけ回転系の回転中心まわりに回転させる。そして、回転移動後のアライメントマークm1 を第1の視野11の中心に戻すようにx方向,y方向で移動させる。以上の回転と移動の繰り返しにより、見えなかった方のアライメントマークm2 を自動的に第2の視野12内に入れるようにする。

請求項（抜粋）：

2点以上のアライメントにおいて第1の視野内にアライメントマークが見えておりかつ第2の視野内にはアライメントマークが見えていないとき、x方向,y方向の移動により第1の視野のアライメントマークをその視野の中心に移動させ、次いで、第1の視野からアライメントマークがはみ出さない所定の角度だけ回転中心まわりに回転させ、回転移動後のアライメントマークを第1の視野の中心に戻すようにx方向,y方向で移動させ、以上のような回転と移動の繰り返しにより、一方のアライメントマークを第1の視野内に存在させた状態を保ちつつ見えない方のアライメントマークを自動的に第2の視野内に入れるようにしたことを特徴とするアライメントマークの自動サーチ方式。

IPC (2件)：

B23P 19/00 304 ,  G01B 11/00