特許
J-GLOBAL ID：200903031205959759
超純水加熱装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
金丸 章一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-030860
公開番号（公開出願番号）：特開平5-228465
出願日： 1992年02月18日
公開日（公表日）： 1993年09月07日
要約：
【要約】【構成】 超純水入口及び超純水出口を有する容器8の内部に、伝熱体で被覆されたヒータ5を設けた超純水加熱装置4において、前記容器8の少なくとも内側面がステンレス鋼よりなると共に、前記伝熱体がステンレス鋼より伝熱係数の大きい金属よりなる下層6と、この上に被覆されたステンレス鋼よりなる上層7とからなることを特徴とする超純水加熱装置。【効果】 熱衝撃等による破壊を防止し得、超純水中での耐溶出性に優れてイオンの溶出混入が生じ難く、又、装置の大型化を図ることができ、更には、得られる高温超純水の温度を一定に制御し得るようになる。
請求項（抜粋）：
超純水入口及び超純水出口を有する容器の内部に、伝熱体で被覆されたヒータを設けた超純水加熱装置において、前記容器の少なくとも内側面がステンレス鋼よりなると共に、前記伝熱体がステンレス鋼より伝熱係数の大きい金属よりなる下層と、この上に被覆されたステンレス鋼よりなる上層とからなることを特徴とする超純水加熱装置。
IPC (2件)：
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