特許
J-GLOBAL ID：200903031209887841
マスフローコントローラ絶対流量検定システム
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
富澤 孝 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-099333
公開番号（公開出願番号）：特開平7-281760
出願日： 1994年04月12日
公開日（公表日）： 1995年10月27日
要約：
【要約】【目的】 配管系に組み込んだ状態でのマスフローコントローラの絶対流量の計測を容易に可能なマスフローコントローラ絶対流量検定システムを提供すること。【構成】 マスフローコントローラ絶対流量検定システムは、第1開閉弁15とマスフローコントローラ11との間のマスフローコントローラ入口配管16上にあって、所定圧力P1の窒素ガスを蓄える計測用ガスタンク12と、計測用ガスタンク12とマスフローコントローラ入口配管16との間で管路を開閉する計測用開閉弁14と、マスフローコントローラ11の入口側の圧力を計測する圧力センサ13とを有し、マスフローコントローラ11へのプロセスガスの供給を第一開閉弁15により遮断した後、計測用開閉弁14を開いて、圧力センサ13により所定の圧力降下に要する時間Tを計測し、時間T及び計測用ガスタンクの容積より絶対流量を算出し、マスフローコントローラの絶対流量を検定する。
請求項（抜粋）：
プロセスガス源から第1開閉弁およびマスフローコントローラを順次経由してプロセスチャンバに該プロセスガスを供給するガス配管系において、前記第1開閉弁と前記マスフローコントローラとの間のマスフローコントローラ入口配管上にあって、所定圧力P1の計測用ガスを蓄える計測用ガスタンクと、前記マスフローコントローラの入口側の圧力を計測する圧力センサとを有し、前記マスフローコントローラへの前記プロセスガスの供給を前記第一開閉弁により遮断した後、前記計測用ガスタンク内に蓄えられている計測用ガスを前記マスフローコントローラに流し、前記圧力センサにより所定の圧力降下に要する時間Tを計測し、前記時間T及び前記計測用ガスタンクの容積Vより前記マスフローコントローラの絶対流量を検定することを特徴とするマスフローコントローラ絶対流量検定システム。
IPC (3件)：
G05D 7/06
, G01F 1/34
, G01F 25/00
