共焦点顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小沢信助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-025318
公開番号（公開出願番号）：特開平6-242380
出願日： 1993年02月15日
公開日（公表日）： 1994年09月02日
要約：

【要約】【目的】簡単な構成で、光軸方向にnmレベルのZ分解能と数μm以上のスパンが得られ、かつ面内方向には共焦点レベルの面内分解能を持つ共焦点顕微鏡を実現する。【構成】ピンホ-ル基板を回転させ、このピンホ-ル基板を通過した照射光を対物レンズを介して試料に対して走査する共焦点用光スキャナを用いた共焦点顕微鏡において、前記ピンホール基板と対物レンズとの間に、前記試料への照射光と前記試料からの反射光により干渉する干渉計を備えた構成としたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

ピンホ-ル基板を回転させ、このピンホ-ル基板を通過した照射光を対物レンズを介して試料に対して走査する共焦点用光スキャナを用いた共焦点顕微鏡において、前記ピンホール基板と対物レンズとの間に、前記試料への照射光と前記試料からの反射光により干渉する干渉計を備えた構成としたことを特徴とする共焦点顕微鏡。

IPC (2件)：

G02B 21/00 , G02B 21/06

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭52-074952
特開昭54-039249
特開昭61-260946

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