流体噴射装置及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東忠彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-350756
公開番号（公開出願番号）：特開2000-198205
出願日： 1999年12月09日
公開日（公表日）： 2000年07月18日
要約：

【要約】【課題】発熱駆動部、メンブレイン、及びノズル部を順次に形成することによって製品の信頼性及び生産性を向上させられる流体噴射装置及びその製造方法を提供する。【解決手段】本発明の製造方法は、犠牲層を持つ発熱駆動部を形成する第1段階と、発熱駆動部の上側に犠牲層を持つメンブレインを形成する第2段階と、メンブレインの上側にノズル部を形成する第3段階と、犠牲層を除去する第4段階とを含む。第1段階は基板上に電極及び発熱体を形成する段階と、電極及び発熱体の上側に駆動流体障壁層を積層し駆動流体障壁層内に駆動流体室を形成する段階と、駆動流体障壁層と電極及び発熱体の上側に保護層を形成する段階と、駆動流体室の内部に駆動流体障壁層と同じ高さに犠牲層を形成する段階とを含む。これにより、製造工程が単純化して生産性が向上され、製品の信頼性が向上され不良率が低まる効果が得られる。

請求項（抜粋）：

犠牲層を持つ発熱駆動部を形成する段階と、前記犠牲層を持つ前記発熱駆動部の上側にメンブレインを形成する段階と、前記メンブレインの上側にノズル部を形成する段階と、前記犠牲層を除去する段階とを含むことを特徴とする流体噴射装置の製造方法。

IPC (3件)：

B41J 2/05 , B05B 9/00 , B41J 2/16

FI (3件)：

B41J 3/04 103 B , B05B 9/00 , B41J 3/04 103 H

引用特許：

出願人引用 (2件)

インクジェットヘッド
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-253276 出願人：富士通株式会社
特開平2-249652

審査官引用 (3件)

インクジェットヘッド
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-253276 出願人：富士通株式会社
特開平2-249652
特開平2-249652

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