特許

J-GLOBAL ID：200903031221527656

ターボ分子ポンプ

発明者： 川崎 裕之
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 渡邉 勇 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-557081
公開番号（公開出願番号）：特表2002-519575
出願日： 1999年06月30日
公開日（公表日）： 2002年07月02日
要約：

【要約】コンパクトなターボ分子ポンプは、軸方向の長さが比較的短く、かつ十分な排気及び圧縮能力を有する。ターボ分子ポンプは、ロータ部の回転翼(30)をステータ部の固定翼(32)と交互に配置した翼排気部(L1)を収容したケーシング(10)を備える。上記翼排気部は、軸方向翼排気部(L1)と、該軸方向翼排気部(L1)の下流に配置された径方向翼排気部(L2)とを備える。

請求項（抜粋）：

ロータ部の回転翼をステータ部の固定翼と交互に配置した翼排気部を収容したケーシングを備え、 前記翼排気部は、軸方向翼排気部と、該軸方向翼排気部の下流に配置された径方向翼排気部とを備えたことを特徴とするターボ分子ポンプ。

IPC (2件)：

F04D 19/04 ,  F16C 32/04

FI (2件)：

F04D 19/04 D ,  F16C 32/04 Z

Fターム (11件)：

3H031DA01 ,  3H031DA06 ,  3H031DA07 ,  3H031EA00 ,  3H031FA01 ,  3H031FA34 ,  3J102AA01 ,  3J102BA03 ,  3J102CA19 ,  3J102DA09 ,  3J102GA06

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開昭63-085290
  
• ターボ分子ポンプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-161689   出願人：ダイキン工業株式会社
• 分子ポンプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-170278   出願人：日本原子力研究所, 株式会社大阪真空機器製作所

審査官引用 (3件)

• 特開昭63-085290
  
• ターボ分子ポンプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-161689   出願人：ダイキン工業株式会社
• 分子ポンプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-170278   出願人：日本原子力研究所, 株式会社大阪真空機器製作所