特許

J-GLOBAL ID：200903031226029433

情報処理装置及びその方法、コンピュータ可読メモリ、プログラム

発明者： 手塚 信彦 ,  小澤 邦貴
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 大塚 康徳 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-322579
公開番号（公開出願番号）：特開2003-133192
出願日： 2001年10月19日
公開日（公表日）： 2003年05月09日
要約：

【要約】【課題】 シミュレーションを実行する情報処理装置おいて、シミュレーション精度を向上させる。【解決手段】 操作端末101から入力した制御コマンドを、コントローラ102が受け付ける。制御コマンド・装置状態切換部104によって、制御コマンドがバーチャル装置110内のユニット動作シミュレーション部113に送られ、シミュレーションの実行と制御コマンドの記録を行う。記録した制御コマンドに基づいて、制御コマンド・装置状態切換部104によって制御コマンドが制御対象ユニット103に送られ、駆動を実行する。

請求項（抜粋）：

制御コマンドによって制御された装置のシミュレーションを実行する情報処理装置であって、前記装置を制御するための前記制御コマンドを用いて、前記装置のシミュレーションを実行するシミュレーション部と、前記シミュレーション部のシミュレーション結果に基づいて、前記制御コマンドを編集する編集部と、前記編集部によって編集された前記制御コマンドを前記装置に出力する出力部と、を備えることを特徴とする情報処理装置。

IPC (4件)：

H01L 21/00 ,  G05B 15/02 ,  G05B 23/02 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

H01L 21/00 ,  G05B 15/02 P ,  G05B 23/02 E ,  H01L 21/30 502 G

Fターム (17件)：

5F046AA28 ,  5F046DA04 ,  5F046DA30 ,  5F046DD01 ,  5F046DD06 ,  5H215AA06 ,  5H215BB10 ,  5H215BB11 ,  5H215CC09 ,  5H215CX06 ,  5H215CX09 ,  5H215GG04 ,  5H223AA05 ,  5H223CC08 ,  5H223DD03 ,  5H223EE30 ,  5H223FF05