特許
J-GLOBAL ID:200903031235005563
カラーフィルタ配列を製造する方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
伊東 忠彦 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-011466
公開番号(公開出願番号):特開平11-002712
出願日: 1998年01月23日
公開日(公表日): 1999年01月06日
要約:
【要約】【課題】 第一の基板上にカラーフィルタ配列を製造する方法を提供する。【解決手段】 第二の基板上に少なくとも一つの転写色素層を設け、熱転写色素層が転写可能な関係にあるが、第一の基板から離間されるように第二の基板を位置決めし;第二の基板を実質的に全ての熱転写色素材料が第一の基板上のパターン化されたレジストに離間した距離を越えて同時に転写するように充分加熱する。望ましくない色素はリフトオフ処理、又は化学的機械的研磨又はエッチングにより選択された領域にわたり開口の位置に熱転写可能な色素材料を後に残すように除去される各段階からなる。
請求項(抜粋):
a) 第一の基板の選択された領域にわたり開口を形成するために第一の基板上にフォトレジスト層を堆積し、パターン化し;b) 第二の基板上に熱転写可能な色素材料を有する少なくとも一つの熱転写色素層を設け、熱転写色素層が転写可能な関係にあるが、第一の基板から離間して第二の基板を位置決めし;c) 第二の基板を実質的に全ての熱転写色素材料が第一の基板上のパターン化されたレジストに離間した距離を越えて同時に転写されるように充分加熱し;d) パターン化されたフォトレジスト層及びオーバーレイ色素層を選択された領域にわたり開口の位置に色素材料を後に残すように除去する各段階からなる、第一の基板上にカラーフィルタ配列を製造する方法。
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