特許
J-GLOBAL ID：200903031235802455
精密研磨装置及び方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-348048
公開番号（公開出願番号）：特開平10-180622
出願日： 1996年12月26日
公開日（公表日）： 1998年07月07日
要約：
【要約】【課題】 被研磨体を保持するための被研磨体保持手段と、前記被研磨体を研磨するための研磨パッドを保持し、該研磨パッドをパッド面中心を軸として自転させる為のプラテンを複数有する研磨ヘッドと、を具備する精密研磨装置において、高い精度の研磨性能を有する精密研磨装置及び方法を提供する。【解決手段】 前記研磨パッドを保持する複数のプラテンを夫々同心円上に配置し、該研磨パッドが該同心円上を公転するように支持するための支持体と、前記研磨パッドの自転数と前記研磨パッドの公転数とが一致するように該パッドを自転させる駆動手段と該パッドを公転させる駆動手段とを制御する制御手段と、を有する。
請求項（抜粋）：
被研磨体を保持するための被研磨体保持手段と、前記被研磨体を研磨するための研磨パッドを保持し、該研磨パッドをパッド面中心を軸として自転させる為のプラテンを複数有する研磨ヘッドと、を具備する精密研磨装置において、前記研磨パッドを保持する複数のプラテンを夫々同心円上に配置し、該研磨パッドが該同心円上を公転するように支持するための支持体と、前記研磨パッドの自転数と前記研磨パッドの公転数とが一致するように該研磨パッドを自転させる駆動手段と該研磨パッドを公転させる駆動手段とを制御する制御手段と、を有することを特徴とする精密研磨装置。
IPC (4件)：
B24B 37/04
, B24B 37/00
, H01L 21/304 321
, H01L 21/304
B24B 37/04 B
, B24B 37/00 C
, H01L 21/304 321 E
, H01L 21/304 321 H
