特許
J-GLOBAL ID：200903031246123460
基板の回転処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-148316
公開番号（公開出願番号）：特開平9-117708
出願日： 1996年05月16日
公開日（公表日）： 1997年05月06日
要約：
【要約】【課題】 飛散防止カップの洗浄能力が高く、洗浄治具などの着脱操作が不要で、しかも、通常の基板の回転処理時にはスピンチャックのみを低トルクで好適に回転駆動することのできる基板の回転処理装置を提供する。【解決手段】 通常の基板回転処理時には、カップ洗浄部材11はスピンチャック1の回転軸6と分離され、スピンチャック1のみが回転駆動される。カップ洗浄時には、スピンチャック1と飛散防止カップ3とを相対昇降させることで、カップ洗浄部材11をカップ洗浄高さに位置させるとともに、カップ洗浄部材11を回転伝達部16を介して回転軸6に係合連結する。この状態でカップ洗浄部材11を回転させるとともに洗浄液供給ノズル15からカップ洗浄部材11の洗浄液案内部12に供給された洗浄液を遠心力によって飛散させて飛散防止カップ3の内面を洗浄する。
請求項（抜粋）：
基板を保持する基板保持手段と、前記基板保持手段を回転軸を介して鉛直軸心周りに回転駆動する回転駆動手段と、前記基板上に処理液を供給する処理液供給手段と、前記基板保持手段の周囲を囲むように配置され、基板に供給された処理液が基板の回転に伴って飛散するのを防止する飛散防止カップとを備えた基板の回転処理装置において、洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、前記基板保持手段の回転軸に挿通配備され、前記洗浄液供給手段から供給された洗浄液を外周部へ導く洗浄液案内部が形成されたカップ洗浄部材と、基板の回転処理時には前記基板保持手段と前記カップ洗浄部材とが接近するとともに、前記基板保持手段の周囲を飛散防止カップが取り囲み、カップ洗浄時には前記基板保持手段とカップ洗浄部材とが離間するとともに、前記カップ洗浄部材の外周部に飛散防止カップの内面が対向するように、前記基板保持手段に対してカップ洗浄部材および飛散防止カップを相対昇降させる昇降手段と、前記基板保持手段とカップ洗浄部材とが接近したときはカップ洗浄部材と前記回転軸との係合を解除し、前記基板保持手段とカップ洗浄部材とが離間したときはカップ洗浄部材と前記回転軸とを係合連結させる係合手段と、を備えたことを特徴とする基板の回転処理装置。
IPC (3件)：
B05C 11/08
, H01L 21/027
, H01L 21/304 341
B05C 11/08
, H01L 21/304 341 Z
, H01L 21/30 564 C
