特許

J-GLOBAL ID：200903031251891468

電子放出素子とその製造方法、および表示装置

発明者： 木村 和人
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-202183
公開番号（公開出願番号）：特開2004-047240
出願日： 2002年07月11日
公開日（公表日）： 2004年02月12日
要約：

【課題】カーボンナノチューブなどの炭素系針状物質を用いて電子放出素子のエミッタを形成する場合に、炭素系針状物質の配列密度を適正化して高い発光効率を実現する。【解決手段】電子放出素子の製造方法として、カソード基板のベースとなるベース基板3上にカソード電極4、絶縁層5およびゲート電極6を順に積層した後、ゲートホール7を形成し、かつゲートホール7内に複数の炭素系針状物質9を配列してエミッタ8を形成する第1工程と、ゲートホール7内に複数の球体13を充填して当該複数の球体13との接触により複数の炭素系針状物質9の一部をベース基板3に対して横倒しの状態に屈曲させる第2工程とを有する。【選択図】 図6

請求項（抜粋）：

基板上のゲートホール内に複数の炭素系針状物質を配列してエミッタを形成する第1工程と、 前記ゲートホール内に複数の球体を充填して当該複数の球体との接触により前記複数の炭素系針状物質の一部を前記基板に対して横倒しの状態に屈曲させる第2工程と を含むことを特徴とする電子放出素子の製造方法。

IPC (3件)：

H01J9/02 ,  H01J1/304 ,  H01J31/12

FI (3件)：

H01J9/02 B ,  H01J31/12 C ,  H01J1/30 F

Fターム (26件)：

5C036EE19 ,  5C036EF01 ,  5C036EF06 ,  5C036EF09 ,  5C036EG12 ,  5C036EH04 ,  5C036EH11 ,  5C127AA01 ,  5C127BA06 ,  5C127BA09 ,  5C127BA13 ,  5C127BA15 ,  5C127BB07 ,  5C127CC03 ,  5C127DD13 ,  5C127DD99 ,  5C127EE08 ,  5C127EE20 ,  5C135AA06 ,  5C135AA09 ,  5C135AA13 ,  5C135AA15 ,  5C135AB07 ,  5C135AC02 ,  5C135HH08 ,  5C135HH20