特許
J-GLOBAL ID：200903031253556623
気体放電表示装置の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-008676
公開番号（公開出願番号）：特開平7-220624
出願日： 1994年01月28日
公開日（公表日）： 1995年08月18日
要約：
【要約】【目的】 パターンの位置ずれを必要以上に見込む必要がなく、かつライン状陰極パターンの長手方向側パターンエッジ部の被覆量を、トリガー印加電圧を高めることなくトリガー効果を期待できる値以下に均一に制御してライン状誘電体パターンを形成する気体放電表示装置の製造方法を得る。【構成】 透明な陰極側パネル基板2上にライン状陰極パターン5とライン状トリガー電極パターン6とを形成した後、表面処理を施し、印刷法にて厚膜ガラスペーストをベタ印刷し、露光、現像を行い所望のパターンを得る。ここで、上記露光工程を、陰極側パネル基板2の正面側からフォトマスク10越しにUV光を照射する正面露光だけで行うようにして、所望のパターンが得られた後、焼成を行い、未感光部8bにライン状誘電体パターン7の層を形成して、ライン状陰極パターン5のパターンエッジ部への誘電体被覆量を50μm以下とした。
請求項（抜粋）：
複数のライン状陽極パターンが形成された陽極側基板と放電空間を挟んで対向する透明な陰極側基板上に形成されて上記複数のライン状の陽極と直交する複数のライン状陰極パターンの長手方向側パターンエッジ部とこのライン状陰極パターンに平行にかつ交互に配設された複数のライン状トリガー電極パターンとをライン状誘電体パターンで被覆するようにした気体放電表示装置の製造方法において、上記ライン状陰極パターンとライン状トリガー電極パターンとを形成した上記陰極側基板上に感光性樹脂にガラス粉末を分散させて成る感光性厚膜ガラスペーストを塗布印刷する印刷工程と、上記ライン状陰極パターンとライン状トリガー電極パターンとが形成された陰極側基板表面側にライン状誘電体パターンの層を未感光部に形成すべくパターニングされたフォトマスクを介して光を照射して上記感光性厚膜ガラスペーストを露光する露光工程と、露光後に現像を行い所望のパターンを得る現像工程と、現像後焼成する焼成工程とを順次経て上記ライン状誘電体パターンを形成することを特徴とする気体放電表示装置の製造方法。
IPC (2件)：
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