特許

J-GLOBAL ID：200903031256353669

加速度センサ

発明者： 鈴木 政善 ,  松倉 哲夫 ,  藤田 弘和 ,  久保田 正則
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立オートモテイブエンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-304494
公開番号（公開出願番号）：特開平5-172844
出願日： 1991年11月20日
公開日（公表日）： 1993年07月13日
要約：

【要約】【目的】本発明の目的は診断機能を有する静電容量形加速度センサを提供するものである。【構成】静電容量形加速度センサのサーボ制御系の一部をスイッチによりオフ状態とし、センサのゲージ部の電圧を強制的に変えることでセンサ出力状態を変え、この電圧よりセンサの診断を行う。【効果】センサ自体の動作の確認、即ち診断が可能になり、センサの信頼度向上、特に不作動の防止ができる。

請求項（抜粋）：

加速度に対応して変位する可動電極及びこの可動電極を介在させた状態で対向配置される固定電極A,Bと、これらの電極における固定電極A・可動電極間と固定電極B・可動電極間の静電容量差が所定値(零を含む)になるように静電サーボ用のパルス(静電サーボはパルス幅変調により行う)を前記各固定電極・可動電極間に印加する静電サーボ制御系回路とを備えた静電容量型の加速度センサにおいて、前記静電サーボ制御系の一部にスイッチを設けることで、サーボ制御系の一部を強制的にオフ状態とし、固定電極・可動電極間に特定の電気的信号を加え、その状態でのセンサの出力電圧より、センサの動作診断を行うことを特徴とする加速度センサ。