特許

J-GLOBAL ID：200903031257222827

試料冷却装置

発明者： 窪田 重雄 ,  葛西 裕人 ,  吉田 高穂 ,  松波 正吉 ,  松田 強 ,  川崎 猛 ,  古津 忠夫
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-112297
公開番号（公開出願番号）：特開平9-306405
出願日： 1996年05月07日
公開日（公表日）： 1997年11月28日
要約：

【要約】【課題】 電子顕微鏡等の試料冷却装置の極低温化と温度を補償すること。【解決手段】 液体窒素貯留容器17の内側に液体ヘリウム貯留容器18を設けた二槽構造の冷媒貯留容器16とし、液体ヘリウム貯留容器18に結合され独立した二つの第一、第二熱伝導部材23、26と液体窒素貯留容器17に結合された第三の熱伝導部材20を第一熱伝導部材23の外側に各々略筒状に包含し熱伝導と熱シールドを兼ね備える。第一熱伝導部材23は中空とし冷媒が流入すろように形成するとともに熱伝導面積をピエゾ素子27で可変可能とする。試料1もしくは試料ホルダー2あるいは試料1もしくは試料ホルダー2を積載する冷却部材3にヒータ25および温度センサー28を設け、温度制御装置29とピエゾ素子駆動装置30を閉ループで制御することで任意の温度に設定制御し温度を補償する。

請求項（抜粋）：

電子顕微鏡等の鏡体内に設置される試料もしくは試料ホルダーを搭載する試料ステージを複数の熱シールド層で包含し、その試料ステージと各々の熱シールド層を冷却するための冷媒貯留容器と、両者をつなぐ熱伝導部材からなる試料冷却装置において、冷媒貯留容器に熱伝導部材の一端が結合され、当該熱伝導部材の熱伝導部を複数の略筒状に分割し、複数の熱シールド層を兼ね、各々独立した熱伝導部材とすることを特徴とする試料冷却装置。