特許
J-GLOBAL ID：200903031264023295
微量不純物の分析方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-185518
公開番号（公開出願番号）：特開平6-034616
出願日： 1992年07月13日
公開日（公表日）： 1994年02月10日
要約：
【要約】【目的】種々の分析計や分析精度が高いとされる大気圧イオン化質量分析計だけでは分離して検出することができなかったガス中の各不純物を、1ppb以下のような高レベルの感度で分析しうる方法を確立する。【構成】ガス中に含まれる不純物をガスクロマトグラフによって成分分別した状態で大気圧イオン化質量分析計に導入して各不純物を検出する。
請求項（抜粋）：
試料ガスをガスクロマトグラフ法により成分分別した後、キャリアガスともに大気圧イオン化質量分析計に導入し、ガス中の微量不純物成分を検出することを特徴とする微量不純物の分析方法。
IPC (3件)：
G01N 30/72
, G01N 27/62
, G01N 30/88
