特許
J-GLOBAL ID:200903031264139757

流体回転装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小鍜治 明 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-260005
公開番号(公開出願番号):特開平5-099174
出願日: 1991年10月08日
公開日(公表日): 1993年04月20日
要約:
【要約】【目的】 真空ポンプやコンプレッサなどの流体回転装置において、広い吸入圧力範囲で排気能力を損うことなく、低い真空到達圧が得られる真空ポンプを提供するものである。【構成】 ロータリエンコーダ6,8等の回転角および回転数の検出手段を用いた非接触方式の同期回転により、複数個のモータの回転を同期制御するようになっており、かつロータ4,5の少なくとも一つの同軸上に遠心要素型の真空ポンプBを設けることにより、小型で真空圧作動領域が広いポンプを得ることができる。
請求項(抜粋):
ハウジング内に収納された複数個のロータと、これらのロータの回転を支持する軸受と、前記ハウジングに形成された流体の吸入口および吐出口と、前記複数個のロータをそれぞれ独立して回転駆動するモータと、前記モータの回転角および回転数を検知する検出手段と、この検出手段からの信号によって前記複数個のモータの回転を同期制御することにより前記ロータおよびハウジングで形成される密閉空間の容積変化を利用して流体の吸入排気を行う容積型のポンプにおいて、前記複数個のロータの少なくとも一つのロータの同軸上かつ上流側に、遠心要素型のポンプを設けたことを特徴とする流体回転装置。
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 特開昭63-001772

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