磁歪式変位検出装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大川宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-057604
公開番号（公開出願番号）：特開平10-253399
出願日： 1997年03月12日
公開日（公表日）： 1998年09月25日
要約：

【要約】【課題】検出精度の向上に有利な磁歪式変位検出装置を提供する。【解決手段】この装置は、磁歪材(5)と、磁歪材(5)の一端側に設けられ弾性波を反射する反射部材(9)と、永久磁石(6)と、磁歪材(5)に電流パルスを供給するパルス供給手段(70)と、磁歪材(5)の他端部の側に設けられ弾性波を受信する受信手段(4)とをもつ。磁歪材(5)の延設方向において永久磁石(6)の変位を増幅した物理量を把握し、その物理量に基づいて永久磁石(6)の相対変位を検出する変位増幅検出手段が設けられている。

請求項（抜粋）：

一方向に延設された状態で架設され弾性波を発生可能な磁歪材と、前記磁歪材の一端側に設けられ弾性波を反射する反射部材と、前記磁歪材の延設方向に沿って相対移動可能な永久磁石と、前記磁歪材にこれの延設方向に沿って流れる電流パルスを供給するパルス供給手段と、前記磁歪材の他端部の側に設けられ、前記電流パルスによる磁場と前記永久磁石による磁場とに基づいて前記磁歪材に発生する前記永久磁石の相対位置に応じた弾性波を受信する受信手段と、前記受信手段による弾性波の受信に伴い、前記磁歪材の延設方向における前記永久磁石の相対変位を検出する検出手段とを具備する磁歪式変位検出装置において、前記検出手段は、前記磁歪材の延設方向において前記永久磁石の変位を増幅した物理量を検出し、その物理量に基づいて、前記磁歪材の延設方向における前記永久磁石の相対変位を検出する変位増幅手段を具備することを特徴とする磁歪式変位検出装置。

IPC (3件)：

G01D 5/48 , G01B 7/00 , G01B 17/00

FI (3件)：

G01D 5/48 A , G01B 7/00 C , G01B 17/00 A

前のページに戻る