特許

J-GLOBAL ID：200903031272367483

固体撮像素子

発明者： 浅井 淳 ,  松崎 康二
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 土屋 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-353565
公開番号（公開出願番号）：特開平10-178166
出願日： 1996年12月17日
公開日（公表日）： 1998年06月30日
要約：

【要約】【課題】 センサへの可視光の透過率を高めて、感度の高い固体撮像素子を提供する。【解決手段】 SiO2 膜23、SiN膜41、SiO2 膜26及びSiN膜32がセンサ15上に順次に設けられており、遮光膜27の開口31の中央部におけるSiN膜41の厚さが40nm以下であり、開口31の中央部におけるSiN膜32の厚さが100nm以下である。このため、Si基体11の表面等で反射された光がSiN膜41で再反射されること等のためにセンサ15への可視光の透過率が高い。

請求項（抜粋）：

Si基体にセンサが形成されており、前記センサに対応する開口を有する遮光膜が前記Si基体の上層に設けられており、第1のSiO2 膜、第1のSiN膜、第2のSiO2 膜及び第2のSiN膜が前記センサ上に順次に設けられており、前記開口の中央部における前記第1のSiN膜の厚さが40nm以下であり、前記中央部における前記第2のSiN膜の厚さが100nm以下であることを特徴とする固体撮像素子。

IPC (3件)：

H01L 27/14 ,  H01L 27/148 ,  H04N 5/335

FI (3件)：

H01L 27/14 D ,  H04N 5/335 V ,  H01L 27/14 B