特許

J-GLOBAL ID：200903031277950853

製品の生産ラインにおける品質管理方法および品質管理システム

発明者： 高鍋 尚子
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 大岩 増雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-340827
公開番号（公開出願番号）：特開2002-149222
出願日： 2000年11月08日
公開日（公表日）： 2002年05月24日
要約：

【要約】【課題】 製品の生産ラインにおける品質特性の傾向または揺らぎを早急に検知し、品質トラブルの発生を未然に防ぐ。【解決手段】 製品の品質特性の傾向であるQCトレンドまたはQC揺らぎを検知するための管理項目として、同種類のQCデータ相互間の差分の絶対値または同種類のSPCデータ相互間の差分の絶対値を用いる。QCデータ相互間の差分としては、例えば同一ロット内または同一ウェハ内の複数の測定点におけるQCデータの最大値と最小値の差分を用いる。また、SPCデータ相互間の差分としては、例えば同一の製造工程または製造装置にて前後して処理された2つのロットの、それぞれのQCデータの測定平均値の差分を用いる。これら差分の絶対値は、予め設定された管理値をもとに管理され、管理値を越えた場合にはアラームが出され、関連部門に報知される。

請求項（抜粋）：

製品の生産ラインにおいて、任意の製造工程または製造装置の処理結果に関連する製品の品質特性の実測検査データを収集・蓄積し、上記実測検査データ及び上記実測検査データを統計処理した統計データの変動を監視することにより製品の品質特性を評価・管理する品質管理方法であって、製品の品質特性の傾向または揺らぎを検知するための管理項目として、同種類の上記実測検査データ相互間の差分の絶対値または同種類の上記統計データ相互間の差分の絶対値を用いることを特徴とする製品の生産ラインにおける品質管理方法。

IPC (3件)：

G05B 19/418 ,  G05B 23/02 301 ,  H01L 21/02

FI (3件)：

G05B 19/418 Z ,  G05B 23/02 301 V ,  H01L 21/02 Z

Fターム (7件)：

3C100AA56 ,  3C100AA68 ,  3C100BB27 ,  3C100EE06 ,  5H223AA05 ,  5H223EE06 ,  5H223FF03