特許
J-GLOBAL ID：200903031278640033
円弧照明装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-142322
公開番号（公開出願番号）：特開平5-333267
出願日： 1992年06月03日
公開日（公表日）： 1993年12月17日
要約：
【要約】【目的】 大型液晶基板等の露光に用いられる反射型投影露光装置に用いられるような円弧照明装置に於いて、従来、光利用効率が低く、照明むらが生じていた課題を解決し、小型で優れた光利用効率、均一な照明を得る円弧照明装置を提供することを目的とする。【構成】 光源と集光光学系と走査光学系とからなる円弧照明装置に於いて、スポット光の走査角度に応じてスポット光の走査速度またはスポット光の大きさまたはスポット光の光量を変化させる手段とからなる。【効果】 光源の光利用効率が高く、露光むらの少ない、また大型基板の露光に好適な円弧照明装置を提供することができる。
請求項（抜粋）：
光源と前記光源から出射した光を集光する集光光学系と前記集光光学系を出射した光を走査する走査光学系とからなる円弧照明装置に於いて、一回の走査内の走査各速度を可変とすることを特徴とする円弧照明装置。
IPC (2件)：
前のページに戻る
