特許
J-GLOBAL ID：200903031284255346
電界放出陰極の作製方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田澤 博昭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-059219
公開番号（公開出願番号）：特開平5-225895
出願日： 1992年02月14日
公開日（公表日）： 1993年09月03日
要約：
【要約】【目的】 十分な電気的性能と信頼性を持った金属の電界放出陰極を、容易かつ安価に得られるように作製する。【構成】 エッチングによりけい素基板11上に錐状の凹み14を形成し、この上に電界放出陰極材料16を形成した後、エッチングにより上記けい素基板11を除去して、上記電界放出陰極材料16に一体に電界放出陰極17を形成する。
請求項（抜粋）：
けい素基板上に形成したエッチングマスク上にフォトレジストを塗布した後、写真製版を施し、上記けい素基板の一部を残して他を上記フォトレジストで覆う第1工程と、次に、上記一部にあるエッチングマスクを溶解除去した後、水酸化カリウム水溶液による異方性エッチングによって角錐状の凹みを上記けい素基板表面に形成する第2工程と、さらに上記フォトレジストおよびエッチングマスクを除去した上記けい素基板の表面に、上記凹みにも充填されるように電界放出陰極材料を形成する第3工程と、最後に、けい素基板をエッチングにより除去して、上記電界放出陰極材料上に角錐状の電界放出陰極を露出させる第4工程とを実施する電界放出陰極の作製方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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