特許
J-GLOBAL ID：200903031287483730
無機質球状粒子の製造方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-228002
公開番号（公開出願番号）：特開平11-071107
出願日： 1997年08月25日
公開日（公表日）： 1999年03月16日
要約：
【要約】【課題】 半導体封止材に使用される球状充填剤は、製造時に球状化室内耐火壁の損傷及び耐火壁との接触により、不純物が混入したり、ガス炎の球状化室内での対流が起こり、炉上部或いは内壁に粉体が付着成長し、温度が上昇すると溶融塊が生成し、バーナー閉塞、原料の火炎外への飛散、冷却室の閉塞がおこり操業できなくなるという問題点がある。また、粉体同士が融着して、球状化度が低下するという問題点がある。【解決手段】原料粉末が火炎中を通過し、球状化する方法において、火炎周囲を含めて構造物の材質を金属とし、構造物全体を冷却帯とする事により、凝集、合着の少ない球状粉を効率よく製造できる。冷却を効率的に進めるために、冷却用ガスを冷却塔内に導入し、火炎を取り囲むように、また火炎に沿って冷却用ガスを流す。さらに火炎と冷却塔壁の間に火炎軸に対して、60度以下の角度で冷却ガスを導入することを特徴とする無機質球状粒子の製造方法。
請求項（抜粋）：
バーナーを介して、原料を火炎中を通過するように供給し、冷却塔内に噴射し、無機質球状粒子を製造する装置であって、冷却塔の内面が金属質であることを特徴とする無機質球状粉末製造装置
IPC (4件)：
C01B 33/18
, C01B 13/14
, C03B 8/04
, B01J 2/16
C01B 33/18 Z
, C01B 13/14 B
, C03B 8/04
, B01J 2/16
