特許

J-GLOBAL ID：200903031289884635

低温恒温装置

発明者： 小見山 泰明 ,  佐保 典英 ,  笹渕 仁 ,  塚田 啓二 ,  神鳥 明彦
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 高田 幸彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-032880
公開番号（公開出願番号）：特開平11-233839
出願日： 1998年02月16日
公開日（公表日）： 1999年08月27日
要約：

【要約】【課題】液体冷媒への侵入熱量の低減化を図る。【解決手段】内槽1と外槽2との間に断熱真空層を形成して、その内部にメッシュ材4と金属箔5とを何層にも交互に重ねた断熱材6を挿入することに加えて、インサート9の上部の断熱材製断熱体14に真空容器13を設ける。

請求項（抜粋）：

第1の槽及び第2の槽を有し、その間に真空断熱層が形成された、液体冷媒を収容する液体冷媒容器と、インサ-トとを備え、前記液体冷媒容器はその上部に設けられた開口部を有し、前記インサ-トは前記液体冷媒に浸すように保持されている被低温恒温維持体と、前記開口部を開閉し得るように前記液体冷媒容器に結合された蓋と、該蓋と前記被低温恒温維持体との間に設けられた断熱材製の断熱体及び真空容器とを備え、前記蓋は前記液体冷媒から蒸発する気体を前記液体容器外に放出する排気ポートを有する低温恒温装置。

IPC (2件)：

H01L 39/04 ZAA ,  G01R 33/035 ZAA

FI (2件)：

H01L 39/04 ZAA ,  G01R 33/035 ZAA