特許
J-GLOBAL ID：200903031290222611
マーク付きプローブ
発明者：
出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-003100
公開番号（公開出願番号）：特開平6-209033
出願日： 1993年01月12日
公開日（公表日）： 1994年07月26日
要約：
【要約】【目的】 プローバセットアップ時のボンデイングパッドとプローブのコンタクトを容易に行えるようにする。【構成】 プローバの顕微鏡の焦点合わせの為の第1のマーク1、第2のマーク2を顕微鏡の視野中にあるプローブの竿棹部31に付する。【効果】 プローブカード上の全プローブに適用する事により、各プローブの接触状態及びプローブ間の高さのばらつきがわかる。またエッジセンサを使用しないのでそのトラブルによる針曲がりが無くなる。
請求項（抜粋）：
半導体ウェハと、この半導体ウェハの表面に対峙する顕微鏡視野に交差し、上記半導体ウェハの表面に傾斜する竿棹部を有すると共に、上記竿棹部の先端に上記半導体ウェハ方向に屈曲した針先部を有するプローブにおいて、前記竿杆部の表面の一部の前記針先部から遠い位置に付した視認可能な第1のマークと、この第1のマークから前記竿棹部の長手方向の前記針先方向に離間して付した視認可能な第2のマークとを備えたことを特徴とするマーク付きプローブ。
IPC (2件)：
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