特許

J-GLOBAL ID：200903031292484702

高導電率試料水の全有機炭素含有量の測定方法及び装置

発明者： 中鉢 博
出願人/特許権者： 株式会社ティ・アンド・シー・テクニカル
代理人 (1件)： 加藤 紘一郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-329751
公開番号（公開出願番号）：特開平9-145653
出願日： 1995年11月24日
公開日（公表日）： 1997年06月06日
要約：

【要約】【課題】 導電率が比較的高い水その他の液体のTOC量を紫外線酸化/導電率変化モニター方式により正確且つ迅速に測定できるようにすることにある。【解決手段】 試料水中のTOCに影響を及ぼさないで、試料水の導電率を所定レベルまで低減させる電気透析装置(18)が、紫外線酸化/導電率変化モニター方式のTOC計(16)の上流側に設けられる。TOC計(16)は、その使用可能な範囲まで導電率の低減した試料水に紫外線を照射して試料水中の有機炭素を化学的に変化させ、紫外線照射の前後における試料水の導電率測定値の差に基づいてTOC量を決定する。導電率低減/TOC測定装置(10)により、半導体洗浄用純水製造システムに用いられる高導電率の原水又は使用済み洗浄水のTOC測定値が所定レベル以上であれば、これをプロセスラインから排出できる。

請求項（抜粋）：

導電率の高い試料水に含まれる全有機炭素(TOC)量の測定方法において、試料水中のTOCに影響を及ぼさないで、試料水の導電率を所定レベルまで低減させ、しかる後、試料水の導電率を測定して第1の読みを得、試料水に紫外線を照射して試料水中の有機炭素を化学的に変化させた後に試料水の導電率を測定して第2の読みを得、導電率の変化を表す第1の読みと第2の読みの差に基づいてTOC量を決定することを特徴とする方法。

IPC (3件)：

G01N 27/06 ,  G01N 21/33 ,  G01N 33/18

FI (3件)：

G01N 27/06 A ,  G01N 21/33 ,  G01N 33/18 B