外観検査用照明装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-157593
公開番号（公開出願番号）：特開2002-005841
出願日： 1992年06月17日
公開日（公表日）： 2002年01月09日
要約：

【要約】【課題】本発明は、被検査基板の表面全体に斑なくP偏光又はS偏光の照明光を選択的に照射して、S/N比の高い基板観察を行うことができる基板外観検査装置を提供する。【解決手段】被検査基板1の表面にP偏光又はS偏光の照明光を照射する照射手段3と、被検査基板1を保持する保持手段5と、この保持手段5を照明光軸を含み被検査基板1に垂直な面内で回動させる傾斜機構7とを備える。照射手段3は、照明光を発光する光源9と、この光源9から発光された照明光を集束させるフレネルレンズ11と、このフレネルレンズ11を介して導光された照明光に対して選択的にP偏光又はS偏光の光学的特性を与えて基板表面に照明する第1の偏光板13とを備え、また、保持手段5には、被検査基板1を透過した照明光を消光させる第2の偏光手段19が設けられている。

請求項（抜粋）：

被検査基板の表面を照射して欠陥等の検査を行なう外観検査装置に用いられる照明装置であって、前記被検査基板に照明光を照射する光原と、この光源の照明光路中に配置されたフレネルレンズと、前記光源の照明光に対して偏光特性を与える照明光用偏光板と、を備えたことを特徴とする外観検査用照明装置。

FI (2件)：

G01N 21/84 E , G01N 21/84 D

Fターム (9件)：

2G051AA51 , 2G051AA84 , 2G051AB01 , 2G051AB07 , 2G051BA11 , 2G051BB19 , 2G051CB01 , 2G051CB02 , 2G051CC09

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開昭57-054803
特開平3-021810
特開昭54-077069

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