特許
J-GLOBAL ID：200903031304237757
液体塗布装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高月 亨
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-360389
公開番号（公開出願番号）：特開平6-204268
出願日： 1992年12月30日
公開日（公表日）： 1994年07月22日
要約：
【要約】【目的】 塗布液の垂れ防止のための負圧を容易に適正に調整することができ、真空圧の標準化も容易にでき、確実に適正な管理を行うことができる液体塗布装置を提供する。【構成】 銀ペーストやコート液等の塗布液1を吐出させて塗布する液体塗布装置において、塗布待機時には塗布液を吸引する負圧をかけるとともに、該負圧を計測するデジタル圧力計等の圧力計2を備える。
請求項（抜粋）：
塗布液を吐出させて塗布する液体塗布装置において、塗布待機時には塗布液を吸引する負圧をかけるとともに、該負圧を計測する圧力計を備えることを特徴とする液体塗布装置。
IPC (2件)：
H01L 21/52
, B05C 5/00 101
