特許
J-GLOBAL ID：200903031308085560
集積型SPMセンサー
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-199336
公開番号（公開出願番号）：特開平8-062230
出願日： 1994年08月24日
公開日（公表日）： 1996年03月08日
要約：
【要約】【目的】歪みセンサーの発熱による先端部のセンサーの温度上昇の少ない集積型SPMセンサーを提供する。【構成】支持部14から延びたカンチレバー12には中央を延びるピエゾ抵抗層16が形成されている。カンチレバー12は酸化シリコン膜で覆われ、その上に電極20、22、32、38が形成されている。抵抗層16の自由端側の端部には電極20が、支持部側の端部には電極24が接続されている。カンチレバー12の自由端部にはp型シリコン領域26が形成され、その一部は鋭く尖った探針10となっている。p型シリコン領域26の一部に形成されたp+ 型シリコン領域28には電極32が接続され、p型シリコン領域26から10μm以上離れた位置に形成されたn+ 型シリコン領域34には電極38が接続されている。抵抗層16と探針周辺部との間には長方形の穴40が形成されている。
請求項（抜粋）：
支持部と、支持部から延びた柔軟なカンチレバーとからなり、カンチレバーは、その長手方向に延びる、歪みに応じて抵抗値が変化する抵抗層と、その先端部に形成された、試料表面の局所領域における特定の物理量を受けるプローブと、プローブが受けた物理量を感知するセンサーとを有している、集積型SPMセンサー。
IPC (4件)：
G01N 37/00
, G01B 7/16
, G01B 21/30
, H01J 37/28
