特許
J-GLOBAL ID：200903031310700710
画像データ圧縮に2Dランレングス符号化を使用するリソグラフィ装置及びデバイス製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
浅村 皓
, 浅村 肇
, 森 徹
, 吉田 裕
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-137659
公開番号（公開出願番号）：特開2006-338000
出願日： 2006年05月17日
公開日（公表日）： 2006年12月14日
要約：
【課題】個別に制御可能な要素のアレイ及びデータ処理パイプラインを備えるリソグラフィ装置を提供すること。【解決手段】個別に制御可能な要素のアレイは、放射線のビームを変調する。データ処理パイプラインは、要求された線量パターンの第1の表現を個別に制御可能な要素のアレイを制御するのに好適な制御データのシーケンスに変換し、基板上に要求された線量パターンを実質的に形成する。データ処理パイプラインは、オフライン前処理デバイス及びオンライン・ラスタライザを備える。オフライン前処理デバイスは、要求された線量パターンの第1の表現を、第1の表現よりも少ないオペレーション回数でラスター化できる中間表現に変換する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
リソグラフィ装置であって、
放射線のビームを変調する個別に制御可能な要素のアレイと、
要求された線量パターンの第1の表現を個別に制御可能な要素の前記アレイを制御するのに好適な制御データのシーケンスに変換し、基板上に前記要求された線量パターンを実質的に形成するデータ処理パイプラインとを備え、前記データ処理パイプラインは、
前記要求された線量パターンの前記第1の表現を、前記第1の表現よりも少ないオペレーション回数でラスター化される中間表現に変換するオフライン前処理デバイスと、
前記中間表現を格納する記憶デバイスと、
前記格納されている中間表現にアクセスし、そこから、実質的にリアルタイムで制御データの前記シーケンスを生成するために使用されるビットマップ・データのストリームを生成するオンライン・ラスタライザとを備えるリソグラフィ装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (5件)：
2H097AA03
, 2H097BB10
, 2H097CA12
, 2H097CA17
, 2H097LA11
