特許
J-GLOBAL ID：200903031312989539
フオトマスクの自動搬送装置及びフオトマスク検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-296003
公開番号（公開出願番号）：特開平5-136233
出願日： 1991年11月12日
公開日（公表日）： 1993年06月01日
要約：
【要約】【目的】半導体装置などの製造での、フォト工程及び検査工程の両方において、フォトマスクケース内のフォトマスクを作業者によって入れ換えることなくフォトマスクを表裏反転させ使用できるフォトマスクの自動搬送装置及び検査装置を提供する。【構成】4のアームにより3のフォトマスクを取り出し、8のフォトマスク保持部で3のフォトマスクを保持し、6の回転部を回転させることにより3のフォトマスクを表裏反転させ、再び4のアームに載せることによりフォトマスクの反転動作を完了する。
請求項（抜粋）：
フォトマスクの自動搬送装置に於て、フォトマスクをフォトマスクケースから取り出しホルダーに移す際、またはフォトマスクをホルダーからフォトマスクケースに戻す際にフォトマスクを表裏反転させる機能を備えたことを特徴とするフォトマスクの自動搬送装置。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, H01L 21/027
, H01L 21/68
