特許
J-GLOBAL ID:200903031313093938

乾燥装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 金山 聡
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-020759
公開番号(公開出願番号):特開2006-205064
出願日: 2005年01月28日
公開日(公表日): 2006年08月10日
要約:
【課題】乾燥ムラを発生させることのなく基材をフローティングさせることができる乾燥装置を提供する。【解決手段】超音波駆動信号を出力する超音波発生器と、超音波駆動信号を入力して超音波振動を起こす超音波振動子と、超音波振動を伝達し超音波を放射する表面を有するとともにその表面が乾燥対象の基材の表面と平行となるように配置された超音波浮揚板と、基材を超音波浮揚板の表面と平行方向に搬送する搬送手段と、基材を加温する加熱手段とを具備するようにした乾燥装置。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
超音波駆動信号を出力する超音波発生器と、前記超音波駆動信号を入力して超音波振動を起こす超音波振動子と、前記超音波振動を伝達し超音波を放射する表面を有するとともにその表面が乾燥対象の基材の表面と平行となるように配置された超音波浮揚板と、前記基材を超音波浮揚板の表面と平行方向に搬送する搬送手段と、前記基材を加温する加熱手段と、を具備することを特徴とする乾燥装置。
IPC (3件):
B05C 9/14 ,  F26B 13/10 ,  F26B 23/04
FI (3件):
B05C9/14 ,  F26B13/10 H ,  F26B23/04 B
Fターム (9件):
3L113AB06 ,  3L113AC10 ,  3L113AC19 ,  3L113BA32 ,  4F042AA22 ,  4F042DB19 ,  4F042DF10 ,  4F042DF15 ,  4F042ED05
引用特許:
出願人引用 (1件)

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