特許
J-GLOBAL ID:200903031316946303

電鋳マスクを用いた噴射加工方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-295250
公開番号(公開出願番号):特開平7-148663
出願日: 1993年11月25日
公開日(公表日): 1995年06月13日
要約:
【要約】【構成】 被加工物の加工面の上に電鋳マスク13を設置し、電鋳マスクをマスクとし、被加工物に対して噴射加工を行い、深さ方向に加工し、被加工物の加工面を所定の形状に加工する。【効果】 圧電基板やアルミナチタンカーバイト基板から振動子の外形加工や薄膜ヘッドの浮上面の溝の外形加工を高精度で加工することが可能である。
請求項(抜粋):
被加工物の加工面上に電鋳マスクを設置し、電鋳マスクをマスクとし、被加工物に対して噴射加工を行い、被加工物を深さ方向に加工して被加工物の加工面を所定の形状に加工することを特徴とする電鋳マスクを用いた噴射加工方法。
IPC (2件):
B24C 1/04 ,  H03H 3/02
引用特許:
出願人引用 (2件) 審査官引用 (1件)

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